项立刚：中国技术生态链在美重压下快速形成

近日，据知情人士透露，美国正在施压荷兰，要求全球最大的光刻机生产企业阿斯麦公司（ASML）禁止向中国出售深紫外线光刻机（DUV），从而把对中国光刻机的禁售范围从先进制程的极紫外线光刻机（EUV）扩大到普遍使用的DUV，目的就是全力遏制正在崛起的中国芯片产业。

短期而言，一旦ASML真的作出禁售决定，将对中国芯片产业发展产生一定阻碍。今天先进制程5nm、3nm的芯片生产需要EUV，这样才能进行大规模先进制程芯片的生产，以往美国也把EUV作为主要限制对象。但是在日常生活中，大部分产品需要的并不是7nm以下的先进制程芯片，而是14nm、28nm等芯片，这些芯片被大量用于通信、汽车、电器、工业生产等众多领域。中国每年进口的大部分芯片也是这一类，这类芯片的生产实际上不需要最先进的EUV，而是用更成熟的DUV就可以。相关资料显示，2021年中国向ASML公司购买了81台DUV光刻机，今年一季度，ASML销售的62台光刻机中，DUV占了59台，其中22台是卖给了中国，可见近两年中国是ASML的主要买家，占了其销售量的约1/3。如果ASML不向中国销售DUV光刻机，这一方面将会在未来一段时间里迟滞中国芯片产业的发展，从这个意义上来说，美国的打击是精准的，他们已经看到，仅仅只是在高端制程上对中国进行限制，并不能全面压制中国芯片产业的发展。

但另一方面，美国也给荷兰方面出了一个难题，如果停止对华销售DUV光刻机，不仅ASML公司会失去巨大市场，最大的问题在于，此举极可能会在未来激励中国相关企业发展，给他们制造出强大的竞争对手。近年来，美国对中国在芯片领域的制裁激发了中国在该领域的投入，突破“卡脖子”关键技术。中国大力发展芯片产业，从政府部门到制造领域，包括大量资本都把中国的芯片发展看作一个巨大机遇。现实上，中国近几年芯片产业正在大规模崛起，在半导体供应链中逐渐形成一定优势，有美国机构调查称，2021年全世界增长最快的20家芯片公司中，中国占据了19家。还有文章指出，从1990年到2020年，全世界半导体超级工厂中国建设了32家，其他国家建设了24家，而美国一家也没有。从这个角度看，中国芯片产业崛起不可阻挡。中国即使目前不能生产最先进制程的芯片，但是它很快会成长为世界芯片制造的重要力量。这也是美国要打击中国芯片产业发展的重要动机。

而光刻机市场是一个技术密集、资金密集，但是规模并不大的市场，因此它的集中度非常高，目前全世界除了最强大的ASML之外，只有尼康、佳能、上海微电子等几家企业可以生产光刻机。而高端的EUV因为投入巨大，客户数量很少，只有ASML一家能够生产。2002年成立的上海微电子通过20年的积累发展，也有了光刻机的研发、制造能力，但因为前些年，中国芯片制造企业并不多，而ASML等企业在技术、成本上具有很大优势，上海微电子公司的发展并不快，核心技术研发人员只有几百人，这在一定程度上制约了国产光刻机的发展。但是，需要明确，上海微电子经过20年发展，已经有大量的技术积累，也能够生产多型号的光刻机产品，目前90nm精度已经量产，正在攻关28nm精度。而且除了上海微电子之外，中国还有一些企业也在光刻机上攻坚克难。也就是说，光刻机对中国并不是一个完全攻克不了的产品，我们已经有自己的研发生产能力，只是以往因为市场不够大，企业投入不够，发展速度不够快。

如果ASML公司屈服于美国的施压，未来不再向中国销售光刻机，中国正在发展的多家芯片企业把目光转向本土企业，这就给了他们巨大的机会。有了订单，再加上以往积累下来的技术和研发经验，这就可以复制“人海战术”，在光刻机领域进行密集的资金和人力投入。中国已经有了光刻机的研发、生产能力，接下来就是把这个能力进行更好的扩展，剩下的就只是时间问题。

每一次美方施加这样的制裁都是中国相关产业“蓄力超车”的机会，对于中国本土光刻机企业而言，压力与机会并存。今天美方滥用国家力量，倚仗技术霸权搞“技术恐怖主义”，是在帮助我们下决心，认识到短板和问题，从而增加投入，力争形成多部门的协作和生态链。等到中国光刻机研发有了更多的突破，这又何尝不是中国芯片产业的新机会呢？（作者是信息消费联盟理事长）